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MSK-PSE-ALD1010 原子层沉积系统

产品型号：MSK-PSE-ALD1010

上架时间：2024-05-07

版本号：V1.0

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功能特点

外热式反应腔体，加热结构在真空室外，反应腔室维护保养无需拆卸腔室加热器或样品台加热器；
配有可拆卸片托，支持100mm*100mm方片及以下尺寸的样品；
3路前驱体源系统（包括2路金属源和1路水源）；
高性能真空系统和残余前驱体源处理热阱；
自动控制沉积系统和工艺压力实时检测显示；
可置于手套箱底部与手套箱对接；
可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；
多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；
沉积模式可设为连续模式或停流模式；
外置移动支架显示器操作。

技术参数
电源		三相五线制AC380V±10%，频率50Hz/60Hz，功率约12KW
反应腔体	腔室	外热式单腔腔室
	样品尺寸	最大100mm*100mm方片及以下尺寸
	反应温度	最高150℃
前驱体源系统	金属源	2路标准加热前驱体源配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动隔膜阀和50mL不锈钢源瓶源瓶及管路加热温度室温至200℃
	水源	1路水源配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动球阀和50mL不锈钢源瓶
	载气系统	2路载气系统全套管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能
真空系统	极限真空	小于5×10-3Torr
	真空漏率	小于5×10-7Pa·L/s
	真空泵抽速	40m³/h
	其他配置	真空泵前级配置热阱，加热温度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反应的前驱体源
	真空计	真空计前设有保护真空计的高效过滤网，沉积过程中可以实时监测显示腔室压力的变化
主机		PLC+4U工控机+显示器

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