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ALD-GSL-4 2通道ALD控制单元

应用范围：ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统，包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送，可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY，组建一套ALD系统，用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。

产品型号：ALD-GSL-4

上架时间：2019-07-09

安装尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

A^-A⁺

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ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统，包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送，可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY，组建一套ALD系统，用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。

性能指标和基本配置
工作电压&功率	AC220V 单相 50/60Hz 100W
PLC触摸屏	● 通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制 ● 可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数（毫秒级） ● 可控制4通道的气体流量（4通道质子流量计，精度±0.2%F.S） ● 真空压力显示 ● 请点击图片查看控制界面 ● RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上，进行远程控制
ALD进气阀	● 对于两种前驱体气体的沉积，需2个ALD进气阀进行控制（不包含在设备中） ● 客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购本公司ALD阀
流量控制	● 四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合流量范围: ● 一路: 0~100 SCCM ● 二路: 1~199 SCCM ● 三路: 1~199 SCCM ● 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 ● 工作温度：5~45ºC 耐压:3MPa ● 精度: ±1.5% FS 线性: ±1%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
通气管道	● 内置不锈钢混气罐 ● 内部连接管道为1/4”不锈钢管 ● 外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐	Φ80X120mm
截止阀及配件	316不锈钢针阀 Φ1/4” 不锈钢管
尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
可选配件	● 可选购气液混合装置用于蒸汽的通入，点击下图查看详情 ● 客户可另外付费由本公司对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装
质量认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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实验设备

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