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GSL-2Z-LCD-S 小型二通道混气系统

应用范围：GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统，PLC触摸屏控制各通道气路流量，并可实时查看流量数据及曲线，可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用，实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。

产品型号：GSL-2Z-LCD-S

上架时间：2019-07-09

安装尺寸：360 mm L x 300 D mm x 190 H mm

重量：8.4kg

A^-A⁺

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GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统，PLC触摸屏控制各通道气路流量，并可实时查看流量数据及曲线，可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用，实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。

性能指标和基本配置
基本参数	● 工作温度：5~45ºC ● 最大压力:0.3MPa ● 精度: ±1.5% FS ● 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: ● 一路：1-99 SCCM ● 二路：1-199 SCCM （其他流量范围可定制） ● 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
输入电源	AC 220V，50/60Hz
功率	100W
PLC触摸屏	各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上
混气罐	内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气
机械压力表	● 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 ● 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
针阀	316 不锈钢
通气管道	● 内部连接管道为1/4”不锈钢管 ● 外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐	内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气
机械压力表	● 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 ● 量程:-0.1~0.15 MPa
针阀	316 不锈钢
通气管道	● 内部连接管道为1/4”不锈钢管 ● 外部通气管道为1/4”聚四氟管
外形尺寸	360 mm L x 300 D mm x 190 H mm
产品重量	8.4kg
相关产品	CVD & PECVD 管式炉（点击图片查看详细资料）
质量认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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实验设备

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