实验设备

● 工作环境：温度 < 42°C，湿度 ≤ 40℃RH
● 输入电源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W
● 等离子体工作压力

● 输出频率：20-23kHz , 25KV
● 等离子枪头：仪器中包括两种等离子枪头：圆形头：10-12mm，矩形头：15-18mm

● 40 PSI min.(0.055 Mpa)
● Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

● 配有可在X-Y轴移动的样品台，通过步进电机驱动，采用SBC控制盒控制
● 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离
● 控制盒采用LCD显示，可设置其等离子枪头的扫描程序。
● 最大扫描范围：8" x 9"
● 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上，可吸住直径为6"的样品。
● 配有一真空泵，可与真空吸盘相连接
● 整个系统安装在一移动架上（600x600x 800Lmm）
● 可选：可选加热样品台（最高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。

处理样品台尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H
等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H

55kg

请点击链接以了解更多关于AP-PECVD应用的信息：常压等离子体增强化学气相沉积（AP-PE-CVD）用于在低温下生长薄膜。

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。