OTF-1200X-F3LV 开启式单温区低真空CVD系统
应用范围：开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成，可为CVD或扩散实验提供1-3种的混合气体，真空度可达10-2torr。
产品型号：OTF-1200X-F3LV
上架时间：2020-04-16
重量：60kg
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开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成，可为CVD或扩散实验提供1-3种的混合气体，真空度可达10-2torr。
| 功能特点 |
|---|
- 双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。
- 内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。
- 采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。
- 设有超温及断偶报警功能。
- 已通过CE认证。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
| 水 | 不需要。 |
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 |
| 气 | 设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 |
| 工作台 | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 |
| 通风装置 | 需要 |
| 电源 | AC 220V 50/60Hz 2.5KW |
| 石英管 | 外径Ø80mm，内径Ø75mm，长1000mm |
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金电阻丝 |
| 加热区域 | 440mm |
| 恒温区域 | 150mm |
| 工作温度 | 最高1200℃，连续工作1100℃ |
| 最大升降温速率 | 20℃/min |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 真空度 | 5.5×10-3torr（机械泵），10-4torr（分子泵） |
| 泄漏率 | <5mtorr/min |
| 浮子流量计 | 3个；10ml/min-100ml/min，16ml/min-160ml/min，25ml/min-250ml/min |
| 压力表 | 4个 |
| 管式炉尺寸 | 550mm×380mm×520mm |
| 混气系统尺寸 | 600mm×600mm×597mm |
| 重量 | 60kg |
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黄萍萍