UNIPOL-1203 化学机械磨抛机
应用范围
:UNIPOL-1203 化学机械磨抛机,适用于CMP 平坦化和平滑化工艺技术,
整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
产品型号
:UNIPOL-1203
上架时间
:2020-08-21
安装尺寸:550mm×700mm×420mm
重量
:约74Kg
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UNIPOL-1203 化学机械磨抛机,适用于CMP 平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
性能指标和基本配置
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产品名称
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UNIPOL-1203 化学机械磨抛机
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安装条件
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本设备要求在海拔 1000m 以下,温度 25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh 下使用。
1、水:设备配有上水口及下水口,需自行连接自来水及下排水
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:无
4、工作台:尺寸 800mm×600mm×700mm,承重200kg 以上
5、通风装置:不需要
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主要特点
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1、超平不锈钢抛光盘(平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm)。
2、超精旋转轴(托盘端跳小于 0.01mm)。
3、设有两个加工工位,可分别进行控制。
4、配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
5、配置自动滴料器,流量速率可视化调整,自动研磨和抛光。
6、配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。
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技术参数
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主机部分
1、电源:220V
2、功率:450W
3、磨抛盘转速:10-240rpm
4、磨抛工位:2 个
5、摆臂调节档位:1-15 档
6、托盘端跳:0.008/250mm
7、不锈钢磨抛盘:φ300mm
8、载样盘:φ105mm
9、修盘环:φ127.5mm
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GPC-100A 精密磨抛控制仪
1、载样盘直径:Ø103mm
2、载样盘轴向行程:12mm
3、数显表精度:0.001mm
4、载样盘可调加载压力:0.1kg-2.1kg
5、压力确认仪有效量程:1g-5000g
6、样品装卡方式:真空吸附
7、承载样件尺寸:直径≤ 103mm、厚度≤12mm
8、尺寸:外径 146mm,高266mm
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自动滴料器
SKZD-2 滚筒滴料器
1、容积:1.5L
2、流量:0-35ml/min
3、尺寸:170×290×350mm;重量:3kg
SKZD-4 自动滴料器
1、加液泵:4 个
2、料液瓶:600ml/瓶
3、计时范围:1-999min
4、流量:0.1ml/min-10ml/min
5、尺寸:230×370×450mm;重量:10kg
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产品规格
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1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
2、重量:74Kg
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标准配件
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1
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铸铁研磨盘
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1个
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2
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不锈钢抛光盘
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1个
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3
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载物盘
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1个
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4
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修盘环
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1个
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5
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SKZD-2 滴料器
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1个
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6
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SKZD-4 自动滴料器
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1个
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7
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GPC-100A 精密磨抛控制仪
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1个
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8
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抛光垫(磨砂革、合成革、聚氨酯)
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各1片
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9
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刚玉研磨微粉
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0.5kg
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10
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石蜡棒
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4个
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可选配件
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1、YJXZ-12 搅拌循环泵
2、精密测厚仪
3、陶瓷研磨盘
4、玻璃研磨盘
5、磁性树脂金刚石研磨片
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暂无内容
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