OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL 滑动式双温区PECVD系统
应用范围：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组，这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
产品型号 ：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL
上架时间 ：2019-07-04
安装尺寸：炉体: 550 x 380 x 520 mm
滑轨: 1750 mm 长
移动架: 1200 x 1200 x 600mm
重量 ：220 Lbs
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OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组，这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 设备型号 |
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL |
| 炉管尺寸 |
2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L 3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L 5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L |
| 产品特点 |
●与传统的CVD相比，只需较低的制备温度 |
| 等离子发射源 |
● 输出功率:5 -500W ± 1% . |
| 真空泵机组 |
● 我公司有多种真空泵可选，请点击图片，或是致电我公司销售。 |
| 质量流量计 |
四个精密的质量流量计(精度0.02% ) ： |
| 控温软件 |
● 计算机可以通过控温软件控制炉子：RS485 接口和软件是免费的，但需要购买数据线和一个控制模块 |
| 外形尺寸 |
● 炉体: 550 x 380 x 520 mm |
| 重量 |
● 净重: 220 Lbs. |
| 开门断电 |
● 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
| 应用注意事项 |
●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ ●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
| 国家专利 |
专利名称：可组合式等离子增强化学气相沉积装置 |
| 质量认证 |
所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
| 保修期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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黄萍萍