实验设备

● 炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸。
● 300W射频电源（13.56MHz）可实现等离子增强从而显著降低实验温度 。
● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性。
● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控。
● 集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段。

● 最高温度：1200ºC(< 1h) 连续工作温度：1100℃
● 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统。
● 输入功率：208-240V，单相，最大功率：2.5KW
● 高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗
● 回转炉旋转速度：2-10rpm
● 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管
● 两温区：每个温度长度为200mm,总温区长度为400mm
● 恒温区长度：200mm(两温区设置为同样温度时)

● 输出功率：5-300W可调（稳定性：±1%）
● 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)
● 最大反射功率：100W
● 匹配：自动匹配
● 射频输出端口：50Ω、N型
● 噪音：＜50dB
● 冷却: 空气冷却
● 电源: 208 -240VAC, 50/60Hz

● 最高工作温度：1300℃（＜1h），长期使用温度：1200℃（当管内温度达800℃时，蒸发舟温度可达1500℃）
● 0.7mL氧化铝坩埚（由钨丝加热圈包围）
● S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的精确测温
● 500W直流电源，最大电流可达30A

● 标准4英寸高纯异形石英管
● 两端直径为60mm,中间直径为100mm

● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）
● 磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕

0-5rpm可调

0~30°

● EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数
● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵
● 真空度可达10-2Torr
注：可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量

4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）
流量范围:
● 一路: 0~100 SCCM
● 二路: 0~200 SCCM
● 三路: 1~200 SCCM
● 四路: 1~500 SCCM
● 电压：208-240V AC 50/60Hz
气体进出口配件：
● 6mmOD的聚四氟管或不锈钢管
● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出
● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制
● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
● 采用K型热偶，控温精度+/- 1℃
● RS485通信端口。

● 可选配EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理。
● 2L不锈钢收集桶安装在右侧，可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集（标配中包含）。

2800mm L x 800mm W x 1700mm H，供气系统：600mmL x 700mm W x 700mm H

180kg

所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证