应用范围:OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。
产品型号 :OTF-1200X-4-C4LVS
上架时间 :2019-07-05
安装尺寸:炉体: 550 x 380 x 520
移动架: 600x600x597
重量:300 lb
TF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。
性能指标和基本配置 | ||
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炉体结构 |
● 高纯 Al2O3保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性. |
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电源 |
电源:208-240VAC, 50/60Hz, 单相, 2.5KW ( 20A 保险丝) |
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加热温度 |
● 最高温度: 1100°C |
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加热区 |
加热区长度: 440mm |
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加热和冷却速度 |
最快的加热和冷却速度跟工作温度有关, 请点击下图可以看出最快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。 |
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石英管 |
● 外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm |
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真空法兰 |
● 一对 SS304不锈钢法兰,通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。 |
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温控仪 |
● 温控仪:带超温保护和PID调节的 30 段程序控制。 |
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混气系统 |
4路精密质子流量计: |
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真空泵 |
● 安装在移动架底部的机械泵,真空度达 10-3 Torr. |
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作为基片用的25um厚的铜箔 (选配) | ||
尺寸(mm) |
● 炉体: 550 x 380 x 520 |
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净重 |
300 lb |
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应用注意事项 |
● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
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质量认证 | ||
保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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