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RF-100-LD 100W小型RF(射频)电源

应用范围:RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF(射频)电源,频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用,可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。

产品型号 :RF-100-LD

上架时间 :2019-09-02

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       RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF(射频)电源,频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用,可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。

 性能指标和基本配置
射频电源

● 输出:5-100W(可调),稳定性:± 1%
● 频率:13.56MHz,稳定性:±0.005%
● 匹配方式:手动匹配
● 冷却方式:风冷
● 噪音量:<50 dB
● 输入:110 -240VAC, 50/60Hz
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尺寸 1
可选配件

● 1英寸高真空磁控溅射头,可自己搭建RF或DC溅射镀膜仪
● 当同时购买100W射频发射器和1英寸磁控溅射头时,本公司会赠送一高真空快速接头
● 此快速接头的内径为0.75英寸,可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1英寸,真空腔体的壁厚不得大于1英寸
● 循环水冷机,流量为16L / min ,水箱容积为6L
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保修期 一年保修,终身技术支持。
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